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KOSAKA LAB ET 200

产品型号 /

微细形状测 定机(探针接触式台阶仪)
株式会社小 坂研究所(KOSAKA)是于1950年创立的公 司,也是日本第一家發表光學幹槓桿表面粗糙度 計,是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為最具代表 性單位且在日本精密測定業佔有一席無法被取代的 地位。

设备特点
KOSAKA ET 200基于Windows XP操作系统为※※※ 多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、 精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以 及平板显示等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET 200能精确可靠 地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET 200配备了各种 型号探针,提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头,彩色CCD原位采集设 计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。

规格
一、測定工件
1. 最大工件尺 寸:φ160mm
2. 最大工件厚 度:50mm
3. 最大工件重 量:2kg
二、檢出器(pick up
1. Z方向測定範圍:Max. 600μm
2. Z方向分解能 :0.1nm
3. 測定力:min.1mgf,max.50mg
4. 觸針半徑:2 μm
5. 驅動方式: 直動式
6. 再現性:1σ= 1nm
三、X (基準軸)
1. 移动量(最大測長):100mm
2. 移動的真直 度:0.2μm/100mm
3. 移動,測定速度:0.02 ~ 10mm/s
4. 線性尺(linar scale):分解能 0.1μm
四、Z軸:
1. 移动量:50mm
2. 移動速度: max.2mm/S
3. 檢出器自動停 止機能
4. 位置決定分解能: 0.2μm
五、工件台 :
1. 工件台尺寸 :φ160mm
2. 機械手動倾斜 : ± 1mm/150mm
、工件觀察:max.110 倍(可選購其它高倍 率CCD)
七、床台:材質為花崗岩石
八、防振台 (選購):落地型或桌上 型
九、電源:AC100V±10%,
50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量
W494×D458×H610mm, 120kg
(不含防震台)

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